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　　微光顯微鏡(Emission Microscope，EMMI)是一種在半導(dǎo)體制造和測(cè)試過程中至關(guān)重要的故障分析和失效檢測(cè)工具。通過偵測(cè)半導(dǎo)體器件內(nèi)部因缺陷或異常而釋放的微量光子，實(shí)現(xiàn)對(duì)元件缺陷的精確定位和分析。當(dāng)給缺陷/失效半導(dǎo)體元件施加電壓時(shí)，元件中電子-空穴對(duì)結(jié)合產(chǎn)生光子，或者元件的熱載子釋放出多余的動(dòng)能，這些光子以光子的形式呈現(xiàn)，并被EMMI所偵測(cè)到。這些被偵測(cè)到的故障點(diǎn)也被稱為亮點(diǎn)或熱點(diǎn)(Hot spot)。

　　自主研發(fā)的EMMI，憑借其配備的高增益相機(jī)與探測(cè)器，以及先進(jìn)的圖像處理技術(shù)，能夠精準(zhǔn)捕捉到這些微弱的光子信號(hào)。該設(shè)備在檢測(cè)過程中不會(huì)對(duì)被測(cè)元件造成任何物理損傷，確保了測(cè)試的準(zhǔn)確性與可靠性。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，EMMI不僅能夠協(xié)助技術(shù)人員精確定位缺陷、深入理解失效機(jī)制，從而改進(jìn)制造工藝、提高產(chǎn)品質(zhì)量;同時(shí)，它還可用于檢測(cè)半導(dǎo)體器件的多種失效情況，如漏電結(jié)、接觸毛刺、閂鎖效應(yīng)以及氧化層漏電等。EMMI作為一種高效的故障分析和失效檢測(cè)工具，在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的技術(shù)價(jià)值。